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第一百二十八章 光刻机

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徒。

现在的二女早就没有了之前的感情怨念,现在闫解放和赵芷静好似有点感觉,周晓娟也找到对象,是一名供销社正式工,据说年底就成亲。

李国成单独把闫解放叫到一边,询问紫光投射的情况。

“李哥,按照您说的方法,现在的紫光平行照射腌模然后收缩腌模图形的实验已经非常稳定”。

“太好了,带我过去看看”。

在实验室的另一个角落,看到一个黑铁皮的单向罩子里,罩子里面是近似半圆的银光反射涂层,一个汞灯安装在罩子里面,用来产生平行紫光。

中间是李国成雕刻的腌模板,下面是由三个凸透镜组成的透镜组,最下面是一面黑色的木板。

闫解放自信地打开汞灯开关,这时一束紫光投射在黑色木板上,上面泛出来点点荧光,一副缩小的图形出现在木板上,线条非常清晰。

李国成大喜过望,用力拍了拍闫解放的肩膀。扫描完三维立体图,拆下灯罩,在念力的加持下,对里面的反光层进行手工抛光。

然后对凸透镜又进行了精密抛光。重新安装完成,打开念力,满满调整焦距,直到投射到木板上面那个的图形线条清晰度最高,才记下了尺寸。

李国成亲自动手,使用曙光II型机床,用了两天时间完成了第一代光刻机的制造和安装。分上下两部分,上面时紫光产生模块和掩模板安装架,下面时底座,可以安装晶圆,晶圆安装大小可调。

上面部分在外壳上采用镂刻手法,雕刻了一条威武霸气的神龙,龙口就是紫光的投射口。一只龙爪做成腌模板的安装座。

紫光部分可以在底座上平面移动,移动精度超过了0.01mm,主要是轧钢厂的最高测量精度就是0.01mm。

整个光刻机虽然简陋,却是可以满足现在工业化生产的要求。李国成相信,这是现在全世界最先进,最漂亮的光刻机。

使用风机对光刻机进行了彻底清理,李国成和闫解放拿着它来到了新建成的无尘车间。通过更衣,吹风等环节,进入车间里面。

把光刻机固定到专门留出的工作台,上电重新检查和调整后,离开了车间。

此时的无尘车间被隔离成三个空间,分别称呼为晶圆制备间、光刻间和后期车间。他们之间用大块的双层玻璃隔离。大小分别是200平,300平和500平。

晶圆制备间里安装着真空提拉炉、切片机和研磨机。光刻间安装有真空氧化炉、真空扩


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